数字式气体质量流量控制器

流量范围：5sccm 至 400slm

数字式金属密封气体质量流量控制器

流量范围：5sccm 至 50slm

数字式大流量质量流量控制器

流量范围：400slm 至 2500slm

低压型大流量质量流量控制器

流量范围：100slm 至 3000slm

双重阀质量流量控制器

流量范围：100slm 至 2500slm

电子压力控制器，100mbar 至30bar

流量范围请咨询

数字式气体质量流量计

流量范围：5sccm 至 2000slm

超大流量质量流量计

流量范围：2000slm至 5000slm

SEMI标准质量流量控制器，压力不敏感型

流量范围：5sccm 至 30slm

最佳全新技术，线性度良好, 精确度控制在设定值±0.5%范围以内

流量范围：5sccm 至 30slm

装裁技能提高产品的安全性，多环境选择使用

流量范围：5sccm 至 30slm

最初的半导体自做用MFC. CVD公定里主要使用

流量范围：5sccm 至 30slm

基本型 MFC. 响应确认度和回答度等重要性能与高端机型同等水平

流量范围：30sccm 至 30slm

专为半导体工艺气体监测设计,保障前后段压力剧变下的流量测量安全性与稳定性，

流量范围：5sccm 至 30slm

高温环境里气化的控制前驱体. 高温环境里测定和控制技术计划持续开发

流量范围：300sccm 至 5slm

型平板显示器制造工厂里主要使用，是半导体制造公证主要活映在工艺腔体中

流量范围：300sccm 至 2slm

用于半导体进程的'液体材料'的为了使绝缘膜更薄、更均匀地沉积

流量范围：0.5 to 1g/min

可以远程调控压力. 并且一般来说压力会随着流量的增加而减小

压力范围：10Torr~100Torr

可选2CH，3CH，4CH

适用于MFC，MFM